Sello de puerta de perfluoroelastómero ultralimpio con resistencia superior al plasma y resistencia a altas temperaturas hasta 300 °C para aplicaciones en semiconductores
Detalles del producto
Sello de puerta de perfluoroelastómero ultralimpio
,Resistencia superior al plasma Sello de la puerta
,Sello de puerta resistente a altas temperaturas
Perfluoroelastómero ultralimpio diseñado para condiciones de proceso de plasma ásperas y gases altamente corrosivos.,con un 76% menos de pérdidas que las especificaciones del fabricante del equipo original.con una resistencia a altas temperaturas superior a 3 MPa.
- Ultralimpio con bajos exudados
- Resistencia superior al plasma de oxígeno y flúor
- Bajo contenido de partículas
- Baja tasa de desgasificación
- Excelente funcionamiento de sellado
- Sellos coloidales
- Sellos para tuberías de gas
- Sellos de las bridas
- Sellos para paneles de puertas metálicas
- Proceso de deposición
- Grabación en seco
- Grabación en húmedo
- Oxidación/difusión
- Proceso de eliminación
| Propiedad | Evaluación comparativa de los materiales | Materiales desarrollados por el propio fabricante |
|---|---|---|
| El color | Ámbar | Ámbar translúcido |
| Composición del material (F%) | 85 | 85 |
| Dureza | 76 | 74 |
| Calidad del material | FFKM | FFKM |
| Estiramiento constante del 100% | 3.5 | 4.76 |
| Resistencia a la tracción (MPa) | 12 | 13.78 |
| Elongación en el momento de la ruptura | 210 por ciento | 233 por ciento |
| Proporción | 2.06 | / |
| Deformación permanente comprimida (70 horas a 204 °C) | El 19% | El 18% |
| Resistencia a la temperatura real | -10°C a 280°C | / |
| Temperatura máxima | 300 °C | 300 °C |
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