Ultrareine Perfluor-Elastomer-Türdichtung mit überragender Plasmaresistenz und Hochtemperaturbeständigkeit bis 300 °C für Halbleiteranwendungen
Produktdetails
Ultrareine Perfluor-Elastomer-Türdichtung
,Überlegene Plasmaresistenz Türdichtung
,Hochtemperatur-Türdichtung
Ultra-reines Perfluorelastomer, entwickelt für harte Plasma- und hochkorrosive Gasprozessbedingungen. Dieses Material bietet eine überlegene Leistungsfähigkeit in Bezug auf Metallgehalt, Ausgasrate und Permeabilität,mit einem 76% geringeren Verlust als die ursprünglichen Spezifikationen des Herstellers.mit einem Gehalt an Kohlenwasserstoffen von mehr als 0,5%.
- Ultrarein mit geringem Ausfluss
- Überlegene Sauerstoff- und Fluorplasmabeständigkeit
- Niedriger Partikelgehalt
- Niedrige Abgasquote
- Ausgezeichnete Dichtungsleistung
- Kolloidale Dichtungen
- Gasleitungsdichtungen
- Flanschdichtungen
- Metallverschlüsse für Türplatten
- Verfahren zur Abgabe von Zeugnissen
- Trockene Ätzung
- Nässeit
- Oxidation/Diffusion
- Entfernungsprozess
| Eigentum | Material-Benchmarking | Selbstentwickelte Materialien |
|---|---|---|
| Farbe | Amber | Bernstein, durchsichtig |
| Materialzusammensetzung (F%) | 85 | 85 |
| Härte | 76 | 74 |
| Materialqualität | FFKM | FFKM |
| 100% konstante Dehnung | 3.5 | 4.76 |
| Zugfestigkeit (MPa) | 12 | 13.78 |
| Verlängerung beim Bruch | 210% | 233% |
| Verhältnis | 2.06 | / |
| Komprimierte dauerhafte Verformung (70 Stunden bei 204°C) | 19% | 18% |
| Tatsächliche Temperaturwiderstandsfähigkeit | -10°C bis 280°C | / |
| Höchsttemperatur | 300°C | 300°C |
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