"superior plasma resistance door seal"
- 2 Bulunan Eşyalar-
Ultra-temiz Perfluoroelastomer kapı mühürü, yarı iletken uygulamalar için üstün plazma direnci ve 300 °C'ye kadar yüksek sıcaklığa direnci
Üstün plazma/korozyon direncine sahip ultra temiz perfloroelastomer contalar, OEM'den %76 daha az kayıp. Düşük parçacık içeriği, yarı iletken işlemler için mükemmel sızdırmazlık. FFKM malzemesi 300°C'ye dayanıklıdır.
-
O2/CF4 plazmalarına yüksek dirençli, plazma kaybının %57,5 oranında azalması ve metalürjik hidrolik mühendisliği için korozyon direnci geliştirilmiş PTFE kaplı mühürleme halkaları
Üstün O2/CF4 plazma direncine sahip PTFE kaplı sızdırmazlık halkaları, rakiplere göre %57,5 daha düşük plazma kaybı. Zorlu metalurjik hidrolik uygulamalar için gelişmiş korozyon/ısı direnci ve düşük gaz çıkışı.