"superior plasma resistance door seal"

優れた耐プラズマ性/耐腐食性を備え、OEM よりも損失が 76% 少ない超クリーンなパーフルオロエラストマー シール。粒子含有量が低く、半導体プロセス向けの優れたシール性を備えています。 FFKM 材料は 300°C に耐えます。

PTFE コーティングされたシール リングは優れた O2/CF4 プラズマ耐性を備え、競合他社よりもプラズマ損失が 57.5% 低くなります。耐食性/耐熱性が強化され、要求の厳しい冶金油圧用途向けの低アウトガス。