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"superior plasma resistance door seal"
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Ultrareine Perfluor-Elastomer-Türdichtung mit überragender Plasmaresistenz und Hochtemperaturbeständigkeit bis 300 °C für Halbleiteranwendungen
Ultrareine Perfluorelastomer-Dichtungen mit hervorragender Plasma-/Korrosionsbeständigkeit, 76 % weniger Verlust als OEM. Geringer Partikelgehalt, hervorragende Abdichtung für Halbleiterprozesse. FFKM-Material hält 300 °C stand.
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PTFE-beschichtete Dichtringe mit hoher Beständigkeit gegen O2/CF4-Plasma, 57,5 % Reduzierung des Plasmaverlusts und verbesserte Korrosionsbeständigkeit für die metallurgische Wasserbauhydraulik
PTFE-beschichtete Dichtungsringe mit überlegener O2/CF4-Plasmabeständigkeit, 57,5 % geringerer Plasmaverlust als die Konkurrenz. Verbesserte Korrosions-/Hitzebeständigkeit, geringe Ausgasung für anspruchsvolle metallurgische Hydraulikanwendungen.
