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"ultra clean perfluoroelastomer door seal"
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Ultrareine Perfluor-Elastomer-Türdichtung mit überragender Plasmaresistenz und Hochtemperaturbeständigkeit bis 300 °C für Halbleiteranwendungen
Ultrareine Perfluorelastomer-Dichtungen mit hervorragender Plasma-/Korrosionsbeständigkeit, 76 % weniger Verlust als OEM. Geringer Partikelgehalt, hervorragende Abdichtung für Halbleiterprozesse. FFKM-Material hält 300 °C stand.