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"ultra clean perfluoroelastomer door seal"
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सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों के लिए 300°C तक बेहतर प्लाज्मा प्रतिरोध और उच्च-तापमान प्रतिरोध के साथ अल्ट्रा-क्लीन परफ्लूरोएलास्टोमर डोर सील
बेहतर प्लाज्मा/संक्षारण प्रतिरोध के साथ अल्ट्रा-क्लीन पेरफ्लूरोलेस्टोमर सील, ओईएम की तुलना में 76% कम नुकसान। कम कण सामग्री, अर्धचालक प्रक्रियाओं के लिए उत्कृष्ट सीलिंग। एफएफकेएम सामग्री 300 डिग्री सेल्सियस का सामना करती है।
