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"ultra clean perfluoroelastomer door seal"
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반도체 용품용 300°C까지의 뛰어난 플라즈마 저항성 및 고온 저항성을 갖춘 초정결 페르플루오로엘라스토머 문 밀봉
OEM보다 손실이 76% 적고 플라즈마/부식 저항성이 뛰어난 초청정 퍼플루오로엘라스토머 씰입니다. 입자 함량이 낮고 반도체 공정에 대한 밀봉성이 우수합니다. FFKM 소재는 300°C를 견딥니다.