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"ultra clean perfluoroelastomer door seal"
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超清潔なパーフルオロエラストーマードアシール,プラズマ耐性高,半導体用途では高温耐性300°Cまで
優れた耐プラズマ性/耐腐食性を備え、OEM よりも損失が 76% 少ない超クリーンなパーフルオロエラストマー シール。粒子含有量が低く、半導体プロセス向けの優れたシール性を備えています。 FFKM 材料は 300°C に耐えます。